微波光氧催化技術就是在工業廢氣處理紫外光的作用下發生了化學反應。大自然中常見光化學反應需要空氣中的分子吸收特定波長的電磁輻射激產生分子激發態，然后發生化學反應生成了新的物質或者變成引發熱反應的中間化學產物。光化學反應的活化能來源于光子的能量而紫外光則是利用特制的紫外線光束照射有機廢氣VOC，例如說裂解苯、甲苯、二甲苯等的分子鍵使之成為游離狀態的污染物分子。同時在微波光氧催化技術的紫外線光束的照射下分解空氣中的氧分子產生游離氧，再由其與氧分子結合進而產生臭氧。

　　作為高氧化劑的臭氧能夠對惡臭氣體及其它刺激性異味有極強的清除效果， 工業廢氣處理。并且通過納米催化床能夠將多種催化劑共同作用從而對有機廢氣進行一個無害化的轉化，轉化的產物為二氧化碳和水，整個過程中能夠有效地減少污染物的危害性。